随着探针台工艺一直生长,现在探针台的种类很是多。
1. 知足种种温度的需求(极低温)
由于晶圆在低温大气情形测试时,空气中的水汽会凝聚在晶圆上,会导致泄电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。阻止这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走,并且坚持整个测试历程泵的运转。
当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时,氧化征象会越来越显着,并且温度越高氧化越严重。太过氧化会导致晶圆电性误差,物理和机械形变。阻止这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走,并且坚持整个测试历程泵的运转。
晶圆测试历程中温度在低温顺高温中变换,由于热胀冷缩征象,定位好的探针与器件电极间会有相对位移,这时需要针座的重新定位,把针座设计于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调解探针的位置。

2. 体积小,稳固性高
与古板探针台相比,崎岖温真空探针台的稳固性更高,接纳先进的手艺工艺,让探针台在事情历程中流通性更高,平稳性更高,从而包管每次实验数据的稳固性,这样实验得出的效果就会越发准确,关于企业快速研发新产品有很大资助。