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低温探针台的优势有哪些?

2023-02-21 18:13:14

随着探针台工艺一直生长 ,现在探针台的种类很是多 。

1. 知足种种温度的需求(极低温)

由于晶圆在低温大气情形测试时 ,空气中的水汽会凝聚在晶圆上 ,会导致泄电过大或者探针无法接触电极而使测试失败 。阻止这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走 ,并且坚持整个测试历程泵的运转 。

当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时 ,氧化征象会越来越显着 ,并且温度越高氧化越严重 。太过氧化会导致晶圆电性误差 ,物理和机械形变 。阻止这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走 ,并且坚持整个测试历程泵的运转 。 

晶圆测试历程中温度在低温顺高温中变换 ,由于热胀冷缩征象 ,定位好的探针与器件电极间会有相对位移 ,这时需要针座的重新定位 ,把针座设计于腔体外部 。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调解探针的位置 。

崎岖温真空探针台

2. 体积小 ,稳固性高

与古板探针台相比 ,崎岖温真空探针台的稳固性更高 ,接纳先进的手艺工艺 ,让探针台在事情历程中流通性更高 ,平稳性更高 ,从而包管每次实验数据的稳固性 ,这样实验得出的效果就会越发准确 ,关于企业快速研发新产品有很大资助 。


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