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半自动探针台是一种用于信息科学与系统科学领域的剖析仪器 ，探针台厂家生产的半自动探针台通过和外接的测试仪器4156C以及温度控制装备TP03000A的毗连 ，组成一个测试平台 ，完成对器件封装前的电性能测试（电阻 ，C/V,击穿特征等） 。
半自动探针台手艺指标：
支持4 ，5 ，6寸wafer 区分率0.25um 提供4个SMU接口 ，可同时输出（丈量）四路直流信号 。 每个SMU最大输出电压100V(-100V),最大输出电流1A 丈量功率100V*10mA 。 开路泄电流20fA 。
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